About Saarland University Chair of Micromechanics, Microfluidics/Microactuators
Profil des LMMs
Der Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik (LMM) wurde am 1. November 2002 an der Universität des Saarlandes neu gegründet. Die Arbeitsschwerpunkte liegen in den Bereichen Simulation und Entwurf von Mikrosystemen, ausgewählte Technologien der Mikromechanik, Prinzipien der Mikroaktorik sowie in der Realisierung und Charakterisierung von mikromechanischen und mikrofluidischen Bauelementen. Typische Anwendungen in der Automobiltechnik sowie in der Luft- und Raumfahrt sind z.B. Komponenten und Subsysteme für Fahrerassistenzsysteme, für inertiale Messeinheiten, für energieautonome Systeme oder zur Flusskontrolle. Im Bereich der Medizin- und Biotechnik geht es beispielsweise um mikrofluidische Systeme zur Dosierung von Flüssigkeiten (Medikamenten-Dosiersysteme) oder um Einrichtungen zum Untersuchen und Sortieren von Zellen. Bei den technologiebezogenen Forschungsarbeiten werden insbesondere funktionale Dünnfilme, (elektro)chemische Ätzverfahren sowie Waferverbindungstechnologien untersucht. Neben Silizium als Substratmaterial spielen auch Polymere und Keramiken eine wichtige Rolle. Zu nennende Schwerpunkte sind piezoelektrische Dünnfilme, hochtemperaturtaugliche Materialien, eutektische und glasbasierte Waferbondverfahren sowie SU8 Lithografie.
Unserer Lehrstuhl LMM ist tragendes Mitglied des Mikrotechnologie-Transferzentrums (Mitranz), einer wissenschaftlichen Einrichtung der Universität des Saarlandes. Herzstück ist ein Reinraum im Gebäude des Science Park 2. Wichtigstes Ziel des Mitranz ist die Unterstützung von Firmen bei der Erprobung und Einführung von Mikrotechnologien und Produkten im Bereich der Mikrosystemtechnik.
Lehrstuhlinhaber ist Prof. Dr. nat. Helmut Seidel. Er studierte an der Ludwig-Maximilians-Universität in München Physik und erwarb sein Diplom mit einer Arbeit zur theoretischen Elementarteilchenphysik bei der Max-Planck-Gesellschaft in München (Werner-Heisenberg-Institut für Physik, 1980). Er begann seine berufliche Laufbahn als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie in München (bis 1985) sowie am Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik in Berlin, wo er die Abteilung für Mikromechanik leitete (bis 1986). In dieser Zeit promovierte er an der Freien Universität Berlin mit einer Arbeit zur elektrochemischen, anisotropen Ätztechnik im Silizium. Im Anschluss wechselte er in die Industrie und war in der Folge in mehreren zentralen Forschungs- und Entwicklungsbereichen verschiedener Unternehmen tätig. Bei der Firma MBB bzw. DASA im Bereich Mikrosystemtechnik in München Ottobrunn war er von 1986 bis 1993 maßgeblich daran beteiligt, einen neuen Reinraum für Siliziumtechnologie und Mikrosystemtechnik aufzubauen, um mikromechanische Bauelemente für Anwendungen in der Luft- und Raumfahrt zu entwickeln. Als dieser Bereich 1993 Bestandteil der zentralen Forschung der damaligen Daimler-Benz-AG wurde, rückten Anwendungen der Automobiltechnik in den Vordergrund. Er übernahm die Leitung eines großen Projektes zur Entwicklung eines Beschleunigungssensors für den Einsatz in der Airbag-Auslöseelektronik. Dieser Sensor wird seit 1998 in großen Stückzahlen gefertigt. Von 1996 bis zur Übernahme des Lehrstuhls an der Universität des Saarlandes leitete er im TEMIC-Produktbereich Sensorsysteme (Tochter von DaimlerChrysler, später bei Continental) die Entwicklung von Mikrosensoren, die für den Einsatz in Kraftfahrzeugen bestimmt waren.